マスフローメーター

Mシリーズ

• Low Flow0.5 SCCM to 5 SCCM
• Mid Flow10 SCCM to 20 SLPM
• High Flow50 SLPM to 12,000 SLPM

MSシリーズ

• All Flow0.5 SCCM to 12,000 SLPM

MQシリーズ

• Mid Flow10 SCCM to 20 SLPM
• High Flow50 SLPM to 12,000 SLPM

MWシリーズ

• Low Flow0.5 SCCM to 5 SCCM
• Mid Flow10 SCCM to 100 SLPM
• High Flow250 SLPM to 1,000 SLPM

MBシリーズ

• Low Flow0.5 SCCM to 5 SCCM
• Mid Flow10 SCCM to 20 SLPM
• High Flow50 SLPM to 12,000 SLPM

MBSシリーズ

• All Flow0.5 SCCM to 12,000 SLPM

MWBシリーズ

• Low Flow0.5 SCCM to 5 SCCM
• Mid Flow10 SCCM to 100 SLPM
• High Flow250 SLPM to 1,000 SLPM

ISMシリーズ(IS-MAX™)

• All Flow0.5 SCCM to 5,000 SLPM

ISMSシリーズ(IS-MAX™)

• All Flow0.5 SCCM to 5,000 SLPM

ISMQシリーズ(IS-MAX™)

• All Flow10 SCCM to 5,000 SLPM

ISMWシリーズ(IS-MAX™)

• All Flow0.5 SCCM to 1,000 SLPM

Bシリーズ (BASIS™)

• All Flow100 SCCM to 100 SLPM

Kシリーズ (CODA™)

• All Flow40 g/h to 300 kg/h

BIOシリーズ

• Low Flow1 SCCM to 5 SCCM
• Mid Flow10 SCCM to 20 SLPM
• High Flow50 SLPM to 500 SLPM