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マスフローメーター / コントローラー
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ALICAT製品カタログ

メーター

品番と特徴

  • Mシリーズ
    (標準タイプ)

    混合ガスを含め98種のガスに対応。±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確度で10msの高速応答。超微少流量(0.5SCCM)から大流量(5000SLPM)までラインナップ。

    納期 約1~1.5ヶ月対応
    ※フルスケール100mL/min~100L/min

  • MSシリーズ
    (腐食性ガス/冷媒ガス対応)

    標準のガス種に加え、腐食性ガス/冷媒ガスを含め130種に対応。材質は316Lステンレススチール、FFKM(Kalrez)を使用。標準タイプ同様の機能、オプションに対応します。

  • MWシリーズ
    (低圧力損失タイプ)

    標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失。超微少流量タイプではフルスケール時の損失が482Pa(0.07PSID)。リークなど低圧アプリケーションに最適です。

    納期 約1~1.5ヶ月対応
    ※フルスケール50mL/min~1L/min

コントローラー

品番と特徴

  • MC/MCRシリーズ
    (標準タイプ)

    混合ガスを含め98種のガスに対応。±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確度で100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。

    納期 約1~1.5ヶ月対応(圧力条件による)
    ※フルスケール100mL/min~100L/min

  • MCS/MCRSシリーズ
    (腐食性ガス/冷媒ガス対応)

    標準タイプで可能なガスに加え、腐食性ガス/冷媒ガスを含め128種のガスに対応。材質は316Lステンレススチール、FFKM(Kalrez)を使用。標準タイプ同様の機能、オプションに対応します。

  • MCW/MCRWシリーズ
    (低圧力損失タイプ)

    標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失。低圧のアプリケーションに対応。0.5SCCMから1000SLPMまでラインナップ。

    納期 約1~1.5ヶ月対応(圧力条件による)
    ※フルスケール50mL/min~1L/min

専用モデル
  • 液体用

    液体用
    フローメーター/フローコントローラー

    L/LC/LCRシリーズ

  • コリオリ式

    コリオリ式
    マスフローメーター/コントローラー

    CODAシリーズ

  • 携帯用

    ポータブル
    マスフローメーター

    MB/MWB/MBS/LBシリーズ

    MBシリーズ納期 約1~1.5ヶ月対応
    ※フルスケール100mL/min~100L/min

  • バイオリアクター向け

    バイオリアクター向け
    高精度フローコントロール

    バイオシリーズ

  • 半導体装置向け

    SEMI規格
    高精度マスフローコントローラー

    MCE/MCESシリーズ

  • 真空装置向け

    シャットオフバルブ搭載
    マスフローコントローラー

    MCV/MCVSシリーズ

  • OEM供給用

    小型のローコスト
    マスフローコントローラー

    BASISシリーズ

  • 圧力コントローラー

    圧力 コントローラー

    PC/PC3/PCD/PCRシリーズ

  • 圧力コントローラー

    組み込み式
    圧力コントローラー

    EPC/EPCDシリーズ

新製品

コリオリ式
マスフローメーター / コントローラー
(CODAシリーズ)

アメリカALICAT社製、マスフローメーター・マスフローコントローラーです。低流量から高圧まで1台で対応できるコリオリ式となります。 製品仕様は予告なく変更になる場合がございますのでご購入の際はお問合せの上ご確認ください。カタログは標準仕様の記述となります。オプションについてはお気軽にお問合せください。

展示会出展のお知らせ

2022年1月26日(水)~28日(金)開催 IIFES2022に コリオリシリーズ出展。 ご来場ありがとうございました。

お問合せ

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※現在新型コロナウイルスの影響による部材の入荷状況により 製造工程の遅延が発生しております。 その影響により、納期の遅延が発生する場合がございます。ご了承ください。

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