マスフローメーター
Mシリーズ
腐食性ガス／冷媒ガス対応
マスフローメーター
MSシリーズ
低圧力損失
マスフローメーター
MWシリーズ
混合ガスを含め98種のガスに対応。±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確度で10msの高速応答。超微少流量(0.5SCCM)から大流量(5000SLPM)までラインナップ。
納期 約1ヶ月対応
※フルスケール2mL/min～100L/min
標準のガス種に加え、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種に対応。材質は316Lステンレススチール、FFKM(Kalrez)を使用。標準タイプ同様の機能、オプションに対応します。
標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失。超微少流量タイプではフルスケール時の損失が482Pa(0.07PSID)。リークなど低圧アプリケーションに最適です。
納期 約1ヶ月対応
※フルスケール2mL/min～2L/min
マスフローコントローラー
MC/MCRシリーズ
腐食性ガス／冷媒ガス対応
マスフローコントローラー
MCS/MCRSシリーズ
低圧力損失
マスフローコントローラー
MCW/MCRWシリーズ
混合ガスを含め98種のガスに対応。±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確度で100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。
納期 約1ヶ月対応（圧力条件による）
※フルスケール2mL/min～100L/min
標準タイプで可能なガスに加え、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種のガスに対応。材質は316Lステンレススチール、FFKM(Kalrez)を使用。標準タイプ同様の機能、オプションに対応します。
標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失。低圧のアプリケーションに対応。0.5SCCMから1000SLPMまでラインナップ。
納期 約1ヶ月対応（圧力条件による）
※フルスケール2mL/min～2L/min
液体用
フローメーター／フローコントローラー
L/LC/LCRシリーズ
コリオリ式
マスフローメーター／コントローラー
CODAシリーズ
ポータブル
マスフローメーター
MB/MWB/MBS/LBシリーズ
MBシリーズ納期 約1ヶ月対応
※フルスケール2mL/min～100L/min
バイオリアクター向け
高精度フローコントロール
バイオシリーズ
SEMI規格
高精度マスフローコントローラー
MCE/MCESシリーズ
シャットオフバルブ搭載
マスフローコントローラー
MCV/MCVSシリーズ
小型のローコスト
マスフローコントローラー
BASISシリーズ
圧力 コントローラー
PC/PC3/PCD/PCRシリーズ
組み込み式
圧力コントローラー
EPC/EPCDシリーズ
アメリカALICAT社製、マスフローメーター・マスフローコントローラーです。低流量から高圧まで1台で対応できるコリオリ式となります。 製品仕様は予告なく変更になる場合がございますのでご購入の際はお問合せの上ご確認ください。カタログは標準仕様の記述となります。オプションについてはお気軽にお問合せください。
2022年1月26日(水)～28日(金)開催 IIFES2022に コリオリシリーズ出展。 ご来場ありがとうございました。
※現在新型コロナウイルスの影響による部材の入荷状況により 製造工程の遅延が発生しております。 その影響により、納期の遅延が発生する場合がございます。ご了承ください。
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